聲表面波(SAW)式氣體傳感器
SAW氣體傳感器制作在壓電材料的襯底上多樣性,一端的表面為輸入傳感器,另一端為輸出傳感器試驗。兩者之間的區(qū)域淀積了能吸附VOC的聚合物膜。被吸附的分子增加了傳感器的質量數字化,使得聲波在材料表面上的傳播速度或頻率發(fā)生變化新格局,通過測量聲波的速度或頻率來測量氣體濃度,主要氣敏材料有聚異丁烯開展攻關合作、氟聚多元醇等特點,用來測量苯乙烯和甲苯等有機蒸汽。其優(yōu)勢在于選擇性高組建,靈敏度高用的舒心,在很寬的溫度范圍內穩(wěn)定,對濕度響應低和良好的可重復性深入交流研討。SAW傳感器輸出為準數(shù)字信號模式,因此可簡便地與微處理器接口。此外集聚效應,SAW傳感器采用半導體平面工藝貢獻,易于將敏感器與相配的電子器件結合在一起,實現(xiàn)微型化提升、集成化持續,從而降低測量成本。W石英振子式氣體傳感器 石英振子微秤(QCM)由直徑為數(shù)微米的石英振動盤和制作在盤兩邊的電極構成。當振蕩信號加在器件上時高品質,器件會在它的特征頻率(1~30MHz)發(fā)生共振。振動盤上淀積了有機聚合物互動講,聚合物吸附氣體后統籌,使器件質量增加,從而引起石英振子的共振頻率降低的特點,通過測定共振頻率的變化來識別氣體高質量。
高分子氣體傳感器,對特定氣體分子具有靈敏度高適應性,選擇性好迎難而上,且結構簡單,可在常溫下使用激發創作,補充其它氣體傳感器的不足更高效,超聲波氣體傳感器發(fā)展前景良好稍有不慎。