氣體傳感器的工作原理與新技術(shù)發(fā)展
更新時(shí)間:2010-04-09 點(diǎn)擊次數(shù):3107次
聲表面波(SAW)式氣體傳感器
SAW氣體傳感器制作在壓電材料的襯底上數據顯示,一端的表面為輸入傳感器責任,另一端為輸出傳感器。兩者之間的區(qū)域淀積了能吸附VOC的聚合物膜實現。被吸附的分子增加了傳感器的質(zhì)量持續向好,使得聲波在材料表面上的傳播速度或頻率發(fā)生變化,通過測量聲波的速度或頻率來測量氣體濃度,主要?dú)饷舨牧嫌芯郛惗∠┙M合運用、氟聚多元醇等,用來測量苯乙烯和甲苯等有機(jī)蒸汽。其優(yōu)勢在于選擇性高研究與應用,靈敏度高適應性,在很寬的溫度范圍內(nèi)穩(wěn)定,對濕度響應(yīng)低和良好的可重復(fù)性有效保障。SAW傳感器輸出為準(zhǔn)數(shù)字信號激發創作,因此可簡便地與微處理器接口。此外稍有不慎,SAW傳感器采用半導(dǎo)體平面工藝探索,易于將敏感器與相配的電子器件結(jié)合在一起,實(shí)現(xiàn)微型化全面協議、集成化重要作用,從而降低測量成本。W石英振子式氣體傳感器 石英振子微秤(QCM)由直徑為數(shù)微米的石英振動盤和制作在盤兩邊的電極構(gòu)成講實踐。當(dāng)振蕩信號加在器件上時(shí)增幅最大,器件會在它的特征頻率(1~30MHz)發(fā)生共振。振動盤上淀積了有機(jī)聚合物相關性,聚合物吸附氣體后競爭力,使器件質(zhì)量增加製高點項目,從而引起石英振子的共振頻率降低的必然要求,通過測定共振頻率的變化來識別氣體。
高分子氣體傳感器物聯與互聯,對特定氣體分子具有靈敏度高狀況,選擇性好,且結(jié)構(gòu)簡單取得了一定進展,可在常溫下使用業務,補(bǔ)充其它氣體傳感器的不足,超聲波氣體傳感器發(fā)展前景良好有所增加。