氣體傳感器的工作原理與新技術(shù)發(fā)展
更新時間：2010-04-09 點擊次數(shù)：3597次
聲表面波（SAW）式氣體傳感器
SAW氣體傳感器制作在壓電材料的襯底上研究與應用，一端的表面為輸入傳感器飛躍，另一端為輸出傳感器更高效。兩者之間的區(qū)域淀積了能吸附VOC的聚合物膜。被吸附的分子增加了傳感器的質(zhì)量重要部署，使得聲波在材料表面上的傳播速度或頻率發(fā)生變化具體而言，通過測量聲波的速度或頻率來測量氣體濃度，主要氣敏材料有聚異丁烯線上線下、氟聚多元醇等發揮重要作用，用來測量苯乙烯和甲苯等有機蒸汽。其優(yōu)勢在于選擇性高數據顯示，靈敏度高去突破，在很寬的溫度范圍內(nèi)穩(wěn)定，對濕度響應(yīng)低和良好的可重復(fù)性達到。SAW傳感器輸出為準(zhǔn)數(shù)字信號智能設備，因此可簡便地與微處理器接口。此外蓬勃發展，SAW傳感器采用半導(dǎo)體平面工藝特點，易于將敏感器與相配的電子器件結(jié)合在一起，實現(xiàn)微型化重要性、集成化又進了一步，從而降低測量成本。W石英振子式氣體傳感器 石英振子微秤（QCM）由直徑為數(shù)微米的石英振動盤和制作在盤兩邊的電極構(gòu)成多元化服務體系。當(dāng)振蕩信號加在器件上時規劃，器件會在它的特征頻率（1～30MHz）發(fā)生共振。振動盤上淀積了有機聚合物深度，聚合物吸附氣體后帶動擴大，使器件質(zhì)量增加，從而引起石英振子的共振頻率降低開拓創新，通過測定共振頻率的變化來識別氣體持續發展。
高分子氣體傳感器，對特定氣體分子具有靈敏度高促進善治，選擇性好擴大，且結(jié)構(gòu)簡單，可在常溫下使用發揮效力，補充其它氣體傳感器的不足新格局，超聲波氣體傳感器發(fā)展前景良好。
